一、总 则
本着“开放、流动、联合、共赢”的原则，为促进学术交流，培养高水平微机电系统传感器领域的科技人才，围绕微机电系统浙江省工程研究中心的研究规划，聚焦MEMS规模制造关键技术、新型MEMS敏感材料及传感器、MEMS传感器应用等方向开展研究，特设立工程研究中心开放基金（以下简称开放基金）项目，资助国内外优秀学者开展高水平的研究，支持交叉学科的研究、开发和应用。
二、资助范围
根据微机电系统浙江省工程研究中心的发展规划和发展目标，2022年度工程研究中心的开放基金申请资助范围集中于以下几个方面：
1. MEMS规模制造关键技术
2.新型MEMS敏感材料
3.新型MEMS传感器
4. MEMS传感器应用
三、项目申请
1.凡具备课题研究工作能力、条件而且具有副高级及以上专业技术职称或硕士及以上学位的校外科技人员，均可直接申请开放基金项目。为方便基金使用，课题团队成员中至少有1名微机电系统浙江省工程研究中心成员参与。
2.本研究中心资助的研究基金主要用于实验材料费、测试费、版面费以及部分差旅费。项目经费资助额度2-4万。资助经费要求立项当年用完。
3.申请研究课题的期限一般不超过二年。
4.申请书可在研究中心网站（http:/zjmemserc/index.htm）下载。申请者须提交项目电子版申请书、并将申请者所在单位签署意见后的纸质稿一式三份寄交本研究中心办公人员。
5. 本研究中心自即日起接受申请，截止日期为2022年4月30日
四、项目审批
研究中心办公人员将先对申报材料进行初评，然后提交研究中心校内学术委员会进行终评。
五、项目管理
1.课题申请者在接到批准资助通知后，应按批准金额、研究年限和评审意见，签订项目合同，在一个月内编写研究工作计划，并报研究中心核准后开展工作。
2.研究者应在课题进行中期向研究中心提交工作进展情况及经费开支情况报告，课题结束时向研究中心提交结题总结、研究成果。
3.基金资助课题的有关论文、专著、成果评议鉴定资料等，均应标注“微机电系统浙江省工程研究中心开放基金资助，项目编号×××”（研究中心英文: Zhejiang Engineering Research Center of MEMS）中英文字样和项目编号。第一作者或通讯作者的单位署名应采用双署名（本研究中心排第一或第二位）。未标注署名（或标注不规范）的论文不计入研究中心开放基金研究成果。
4. 在规定的课题年限内，研究者若要变动项目研究计划、研究队伍、经费使用及项目依托单位等重要事项，申请人须提前向研究中心提出变更申请，经研究中心主任核准后方可变更。
5.研究中心资助的课题经费一般仅限于在研究中心内使用。对使用不合理或不按进度完成计划者，经研究中心主任批准后，可中断该项目基金的使用或者取消原批准的经费。
6.研究者的研究开销及报销费用由项目负责人签字生效。本研究中心有权对项目经费使用的合理性进行审核。如不合格，不予报销。
联系人：姚 博
浙江省绍兴市城南大道900号yl6809永利官网南山校区6号楼 709
邮编：312000
Email: yaob_usx@163.com
电话： 0575-88345676
微机电系统浙江省工程研究中心
2022年4月8日
